1.温湿度设定动态优化
(1)温度设定:芯片厂房实测显示25%时间室温低于设定下限,过度冷却导致能耗增加5%~10% 。应基于工艺敏感度设定合理区间(如22℃±1℃ vs 22℃±0.5℃),并随季节调整。
(2)湿度控制:采用分程控制技术(如冬季表冷+蒸汽加湿,夏季制冷+转轮除湿),避免冷热抵消。案例:天津CTS电子厂通过串级控制实现湿度50%±10%,减少再热能耗 。
2.压差梯度精细化控制
(1)静态压差:洁净区vs非洁净区维持10~15Pa,同级区间5~10Pa 。
(2)动态补偿:采用余度平衡阀联动新风/排风量,通过PID算法实时调节风机频率,将压差波动控制在±2Pa内 。
3.负荷预测与设备联动
通过MES系统获取生产计划,提前2小时预启空调系统:
(1)高发热设备(如氧化炉)运行时,冷水机组温度设定下调1℃;
(2)设备待机时切换至值班模式。
4.非生产区动态关闭
利用BMS系统分区控制:非工作时段关闭30%辅助区域(更衣室、暂存间)的送风,年节电率达12% 。